晶圆抛光（晶圆抛光视频）

碳化硅晶圆粗抛光用什么抛光液? 在碳化硅晶圆粗磨工艺流程中，使用的是氧化铝抛光液。氧化铝抛光液与工件表面直接接触，不断地进行切削和磨削，从而提升硅晶圆表面抛光光洁度。氧化铝抛光液常适用于光学晶体和碳化...

admin 2024-02-08 318 #晶圆抛光