晶圆图像检测（晶圆测试原理介绍） 晶圆硅片滑移线检测设备工作原理 工作原理 在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用... admin 2023-12-08 728 #晶圆图像检测
